美國(guó)早在1886年即發(fā)布過(guò)第一個(gè)TUFzl****,1914年的zl****認(rèn)為T(mén)UF的流量與頻率有關(guān)。美國(guó)的第一臺(tái)TUF是在1938年開(kāi)發(fā)的,它用于飛機(jī)上燃油的流量測(cè)量,只是直至二戰(zhàn)后因噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)和液體噴氣燃料急需一種高精度、快速響應(yīng)的流量計(jì)才使它獲得真正的工業(yè)應(yīng)用。如今,它已在石油、化工、科研、國(guó)防、計(jì)量各部門(mén)中獲得廣泛應(yīng)用。
流量測(cè)量***早是由瑞士人開(kāi)始的,在1738年,瑞士******的物理學(xué)家丹尼爾?伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ),利用了差壓法測(cè)量了水流量。
后來(lái),意大利物理學(xué)家文丘里又用文丘里管測(cè)量了流量,并發(fā)表了研究成果。
1886年,美國(guó)人赫謝爾應(yīng)用文丘里管制成了測(cè)量說(shuō)流量的的實(shí)用測(cè)量裝置。
20世紀(jì)初期到中期,原有的測(cè)量原理逐漸走向成熟,人們不再將思路局限在原有的測(cè)量方法上,而是開(kāi)始了新的探索。1910年時(shí),美國(guó)人開(kāi)始了槽式流量計(jì)的研究工作,這種流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量明溝中水流量的。1922年,帕歇爾將水槽測(cè)量改革為帕歇爾水槽。
槽式流量計(jì)發(fā)展的同時(shí),美籍匈牙利人卡門(mén)正在研究渦街理論,1911年到1912年,他提出了卡門(mén)渦街新理論。
到了30年代,又出現(xiàn)了探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法聲波測(cè)量流量的方法,但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進(jìn)展,直到1955才有了應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)的問(wèn)世,用于測(cè)量航空燃料的流量。
1945年,科林用交變磁場(chǎng)成功的測(cè)量了血液流動(dòng)的情況。
20世紀(jì)的60年代以后,測(cè)量?jī)x表開(kāi)始向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如,為了提高了差壓儀表的準(zhǔn)確度,出現(xiàn)了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器;為了使電磁流量計(jì)的傳感小型化和改善信噪比,出現(xiàn)了用非均勻磁場(chǎng)和低頻勵(lì)磁方式的電磁流量計(jì),此外,具有寬測(cè)量范圍和無(wú)活動(dòng)檢測(cè)部件的實(shí)用卡門(mén)渦街流量計(jì)也在70年代問(wèn)世。
隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展,具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲(波)流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用,微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用,進(jìn)一步提高了流量測(cè)量的能力,如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)后,可處理較為復(fù)雜的信號(hào)